上下翻转和旋转180度的区别

新启航半导体已获得晶圆翻转机构专利，可夹持并翻转不同尺寸的晶圆。位置校准组件配有旋转夹持组件，用于夹持和翻转晶圆；旋转夹持组件包括第二伺服电机、转盘、辅助夹持组件和移动组件...固定连接，辅助夹持组件为固定连接移动组件与辅助夹紧组件固定连接。 通过上述方法，本实用新型可以夹持不同尺寸的晶圆进行翻转。

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...翻转装置专利，专利技术可以实现对相同尺寸或​​不同多个晶圆的夹持翻转。本发明涉及晶圆翻转装置、晶圆半导体机器车削方法。 晶圆转动装置包括晶圆夹紧机构和旋转机构。晶圆夹紧机构包括第一移动单元、...相应的一组第一支撑件。 块组和第二保持器组组彼此协作以夹持晶片，并且不同第一保持器组和对应的第二保持器组用于夹持至少石头尺寸的晶片。 这头发...